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半導體製程實驗室
實驗室名稱 : 半導體製程實驗室
參與教授 : 吳明偉
協同參與教授 : 方昭訓
設備 :
名稱 數量 金額 購買日期
高真空蒸度系統 1 0.00
磁性探針座 1 0.00
量測平台及量測系統 1 0.00
CCD 顯微影像系統 1 0.00
空氣壓縮機 1 0.00
探針座 2 0.00
濕氧/乾氧管型氧化爐 1 0.00
'溫度及氣體流量控制設備 1 0.00
'冷卻水循環系統 1 0.00
低頻C-V量測系統 1 0.00
'顯微放大鏡系統 1 0.00
量測控制傳輸線 1 0.00
電子束真空鍍膜機 1 0.00
個人電腦 1 0.00
研究方向 : 近年來,由於高科技產業的蓬勃發展,材料製程及分析的人才需求甚殷。為因應半導體產業之人才訓練需求而成立此半導體製程實驗室。此實驗室提供半導體製程實驗教學。
提供半導體製程設備以利相關研究之進行。
圖檔 : 高真空蒸度系統 濕氣乾氧管型氧化爐 磁性探針座 量測平台及量測系統 CCD 顯微影像系統
附檔 :
參考連結 : http://nfusparc.nfu.edu.tw/ezfiles/34/1034/img/349/525373458.ppt